Դիմադրողական գոլորշիացում
1>. Վակուումային գոլորշիացում
Վակուումային գոլորշիացումը, որը կոչվում է գոլորշիացում, վերաբերում է ծածկույթի նյութը (կամ թաղանթանյութը) գոլորշիացնելու և վակուումային պայմաններում որոշակի տաքացման և գոլորշիացման եղանակով գոլորշիացնելու գործընթացին, և մասնիկները թռչում են ենթաշերտի մակերես՝ թաղանթ ձևավորելու համար: Գոլորշիացումը գոլորշիների նստեցման ավելի վաղ և լայնորեն կիրառվող տեխնոլոգիա է, որն ունի թաղանթի ձևավորման պարզ մեթոդի, բարակ թաղանթի բարձր մաքրության և կոմպակտության, ինչպես նաև ֆիլմի յուրահատուկ կառուցվածքի և կատարողականության առավելությունները:
2>. Աշխատանքի սկզբունքը
Գոլորշիացման ֆիզիկական գործընթացը ներառում է՝ նստած նյութի գոլորշիացումը կամ սուբլիմացումը գազային մասնիկների → գազային մասնիկների արագ տեղափոխումը գոլորշիացման աղբյուրից մինչև հիմքի մակերես → գազային մասնիկները կցվում են ենթաշերտի մակերեսին՝ միջուկացնելու, վերածվում պինդ թաղանթի → վերակառուցում են բարակ ատոմների ատոմները։
Ենթաշերտը տեղադրվում է վակուումային խցիկում և տաքացվում է դիմադրությամբ, էլեկտրոնային ճառագայթով, լազերով և այլ մեթոդներով՝ ֆիլմի նյութը գոլորշիացնելու կամ սուբլիմացնելու և այն որոշակի էներգիայով (0,1-0,3eV) մասնիկների (ատոմների, մոլեկուլների կամ կլաստերների) գոլորշիացման համար: Գազային մասնիկները տեղափոխվում են ենթաշերտ գծային շարժումով, որը հիմնականում զերծ է բախումից, և որոշ մասնիկներ, որոնք հասնում են ենթաշերտի մակերեսին, արտացոլվում են, իսկ մյուս մասը ներծծվում է ենթաշերտի վրա և տարածվում մակերեսի վրա, ինչի արդյունքում երկչափ բախումներ են տեղի ունենում կուտակված ատոմների և ատոմների միջև, այնուհետև մակերևույթի վրա մակերևույթի և ցուպիկի մի մասը կարող է գոյանալ կարճ ժամանակում: Մասնիկների կլաստերները մշտապես բախվում են ցրված մասնիկների հետ՝ կա՛մ կլանելով, կա՛մ արտանետելով առանձին մասնիկներ: Այս գործընթացը կրկնվում է բազմիցս, և երբ հավաքված մասնիկների թիվը գերազանցում է որոշակի կրիտիկական արժեքը, այն դառնում է կայուն միջուկ, այնուհետև շարունակում է ներծծել և ցրել մասնիկները և աստիճանաբար աճել և վերջապես ձևավորել շարունակական բարակ թաղանթ՝ հարակից կայուն միջուկների շփման և միաձուլման միջոցով:
3>. Հիմնական պարամետրեր
Հագեցվածության գոլորշիների ճնշում (PV). Ճնշումը, որի դեպքում գոլորշիացված նյութի գոլորշին վակուումային խցիկում հավասարակշռության մեջ է պինդ կամ հեղուկի հետ որոշակի ջերմաստիճանում: Հագեցվածության գոլորշիների ճնշման և ջերմաստիճանի փոխհարաբերությունների կորը մեծ նշանակություն ունի ֆիլմերի արտադրության տեխնոլոգիայի համար, որը կարող է օգնել մեզ ռացիոնալ ընտրել գոլորշիացման նյութերը և որոշել գոլորշիացման պայմանները:
