Sputtering.PVD
1. A mágneses porlasztó bevonat sokkal jobb, mint az ívionos bevonat, és kevésbé vannak durva csepprészecskék.
2. A film-alap kötőereje jobb, mint a vákuumpárologtatásos bevonaté. A vákuumpárologtatásos bevonási technológiában a filmrétegben lévő atomok energiája csak a párolgás során szállított hőenergia, amely 00,1~0,2eV-nak felel meg; míg a magnetronos porlasztó bevonat technológiában a filmréteg részecskéinek energiáját az argonionok és a céltárgy felületi atomjai állítják elő. A csere és az impulzuscsere javíthatja a membrán-bázis kötőerőt.
3. A filmréteg összetétele közel áll a célanyaghoz. A magnetronporlasztás filmrétegét argonionok porlasztják le a céltárgyról, és a filmréteg összetétele nagyon közel áll a célanyagéhoz. Az így létrejövő "frakcionálás" vagy "bomlás" jelenség viszonylag enyhe a párologtatásos bevonattal összehasonlítva. Általában azonban egy nagyon szigorú teljesítménykövetelményekkel rendelkező funkcionális film bevonásakor a porlasztási folyamat során bizonyos mennyiségű reaktív gázt kell hozzáadni, hogy a film összetett filmösszetétele megfeleljen a sztöchiometrikus aránynak, hogy biztosítsa a fólia teljesítménykövetelményeit.
4. A bevonat jó bevonatteljesítményű. A porlasztó bevonat vákuumnyomása alacsony. A gázmolekulák szabad útja rövid, az ütközés valószínűsége magas, és a párolgási bevonattal összehasonlítva a filmrészecskék szóródási képessége erős, a bevonat teljesítménye jó, és a filmvastagság egyenletes.
5. A porlasztó cél egy terület típusú bevonatforrás. Mind a sík Magnetron porlasztó céltárgy, mind a hengeres magnetron céltárgy hossza elérheti a 300-3000 mm-t. Bár mindkettő lineáris bevonatforrás, a munkadarab folyamatos mozgásával párosulva, nagy felületen bevonható. Ha egy 3300 mm széles üvegfelületre fóliát vonnak be, akkor különböző színű és áteresztőképességű egységes filmréteget kaphatunk. A mágneses porlasztást széles körben alkalmazzák nagy felületű vékony filmek felhordására.
6. Használjon előfeszítő feszültséget a munkadarabon. Eleinte a Magnetron porlasztásos technológiában. Napjainkban a magnetronos porlasztásos bevonási technológiát széles körben alkalmazzák fémfelületeken, és a fóliaréteg minőségének javítása érdekében a munkadarabra negatív előfeszítő feszültség alkalmazása a speciális funkcionális filmek és csúcsminőségű dekorációs termékek bevonásának fő technológiájává vált.
