Sputtering.PVD
1. Magnetron sputtering txheej yog zoo dua li arc ion txheej, thiab muaj tsawg coarse droplet hais.
2. Cov zaj duab xis-substrate bonding quab yuam yog zoo dua li ntawm lub tshuab nqus tsev evaporation txheej. Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev vacuum evaporation txheej tshuab, lub zog ntawm cov atoms nyob rau hauv zaj duab xis txheej tsuas yog lub tshav kub lub zog nqa thaum lub sij hawm evaporation, uas yog sib npaug rau 00.1 ~ 0.2eV; Thaum nyob rau hauv lub magnetron sputtering txheej tshuab, lub zog ntawm cov zaj duab xis txheej hais yog generated los ntawm argon ions thiab lub nto atoms ntawm lub hom phiaj. Kev sib pauv thiab kev sib pauv hloov pauv tuaj yeem txhim kho cov membrane-puag khi quab yuam.
3. Cov txheej txheem ntawm zaj duab xis yog ze rau cov khoom siv. Cov zaj duab xis txheej ntawm magnetron sputtering yog sputtered los ntawm lub hom phiaj los ntawm argon ions, thiab muaj pes tsawg leeg ntawm cov zaj duab xis txheej yog heev ze rau ntawm lub hom phiaj cov khoom. Qhov tshwm sim "fractionation" lossis "decomposition" tshwm sim yog lub teeb piv nrog evaporation plating. Txawm li cas los xij, feem ntau thaum txheej cov yeeb yaj kiab ua haujlwm nrog cov kev xav tau nruj heev, qee qhov ntawm cov roj reactive yuav tsum tau ntxiv thaum lub sij hawm sputtering txheej txheem kom cov compound zaj duab xis muaj pes tsawg leeg ntawm cov zaj duab xis raws li stoichiometric piv los xyuas kom meej cov kev ua tau zoo ntawm cov zaj duab xis.
4. Cov txheej txheej muaj cov txheej txheem zoo. Lub tshuab nqus tsev siab ntawm sputtering txheej yog tsawg. Txoj kev pub dawb ntawm cov roj molecules luv luv, qhov sib tsoo qhov tshwm sim yog siab, thiab piv rau evaporation txheej, lub peev xwm tawg ntawm zaj duab xis yog muaj zog, txheej txheej ua tau zoo, thiab cov yeeb yaj kiab tuab yog uniform.
5. Sputtering lub hom phiaj yog thaj chaw hom txheej txheej. Qhov ntev ntawm ob lub dav hlau Magnetron sputtering lub hom phiaj thiab lub hom phiaj magnetron cylindrical tuaj yeem ncav cuag 300 ~ 3000 hli. Txawm hais tias ob qho tib si yog cov txheej txheem txheej txheej, ua ke nrog kev txav mus los ntawm qhov chaw ua haujlwm, nws tuaj yeem coated ntawm thaj tsam loj ntawm qhov chaw. Yog hais tias ib zaj duab xis yog coated rau ntawm iav nto nrog ib tug dav ntawm 3300mm, ib tug niaj hnub zaj duab xis txheej nrog txawv xim thiab transmittance yuav tau. Magnetron sputtering tau dav siv nyob rau hauv depositing loj cheeb tsam nyias zaj duab xis.
6. Siv qhov tsis zoo voltage rau lub workpiece. Thaum xub thawj, hauv Magnetron sputtering tshuab. Niaj hnub no, magnetron sputtering txheej tshuab yog dav siv nyob rau hauv cov hlau substrates, thiab siv tsis zoo bias voltage rau lub workpiece los txhim kho qhov zoo ntawm cov zaj duab xis txheej tau dhau los ua lub ntsiab technology rau txheej tshwj xeeb functional films thiab high-end hniav khoom.
