Ealachadh an aghaidh

Tha falmhachadh falamh, ris an canar falmhachadh, a ’toirt iomradh air an dòigh pròiseas airson a bhith a’ falmhachadh an stuth còmhdaich (no stuth film) agus ga ghluasad le dòigh teasachaidh is falmhachaidh sònraichte fo chumhachan falamh, agus bidh na gràinean ag itealaich gu uachdar an t-substrate gus film a chruthachadh. Tha falmhachadh na theicneòlas tasgaidh bhalbhaichean a chaidh a chleachdadh nas tràithe agus as fharsainge, aig a bheil na buannachdan bho dhòigh cruthachadh film sìmplidh, fìor-ghlanachd agus dlùth-chomas film tana, agus structar film sònraichte agus coileanadh.

Tha am pròiseas gluasaid corporra a’ toirt a-steach: falmhachadh no sublimation an stuth a tha air a thasgadh a-steach do ghràinean gasach → giùlan luath de ghràinean gasach bhon stòr falmhachaidh gu uachdar an t-substrate → bidh na gràinean gasach a’ ceangal ri uachdar an t-substrate gus an niuclasachadh, a’ fàs gu bhith na fhilm chruaidh → ag ath-chruthachadh dadaman film tana no a’ dèanamh ceangal ceimigeach.

Tha an t-substrate air a chuir ann an seòmar falamh agus air a theasachadh le strì an aghaidh, beam dealanach, leusair agus dòighean eile gus an stuth film a ghluasad no sublimate agus a ghluasad gu gràineanan (ataman, moileciuilean no cruinneachaidhean) le lùth sònraichte (0.1 ~ 0.3eV). Tha na mìrean gaseous air an giùlan chun t-substrate ann an gluasad sreathach a tha gu bunaiteach gun bhualadh, agus tha cuid de na gràineanan a ruigeas uachdar an t-substrate air an nochdadh, agus tha am pàirt eile air a shanasachadh air an t-substrate agus a ’sgaoileadh air an uachdar, a’ leantainn gu tubaistean dà-thaobhach eadar na dadaman a chaidh a thasgadh gus cruinneachaidhean a chruthachadh, agus faodaidh cuid fuireach air an uachdar airson ùine ghoirid agus an uairsin falmhachadh. Bidh cruinneachaidhean de ghràineanan an-còmhnaidh a’ bualadh le mìrean sgaoilte, an dàrna cuid a’ sùghadh no a’ sgaoileadh mìrean singilte. Bidh am pròiseas seo air ath-aithris a-rithist agus a-rithist, agus nuair a tha an àireamh de ghràineanan a chaidh a chruinneachadh nas àirde na luach èiginneach sònraichte, bidh e na niuclas seasmhach, agus an uairsin a ’leantainn air adhart a’ sùghadh agus a ’sgaoileadh ghràineanan agus a’ fàs mean air mhean, agus mu dheireadh a ’cruthachadh film tana leantainneach tro cheangal agus aonachadh niuclas seasmhach ri thaobh.

Cuideam vapor sùghaidh (PV): An cuideam aig a bheil bhalbhaichean an stuth falmhaichte ann an seòmar falamh ann an co-chothromachd le cruaidh no leaghan aig teòthachd sònraichte. Tha an lùb dàimh eadar cuideam sùghaidh sùghaidh agus teòthachd air leth cudromach airson teicneòlas saothrachaidh film, a chuidicheas sinn gus stuthan falmhachaidh a thaghadh gu reusanta agus suidheachadh falmhachaidh a dhearbhadh.