Nettoyage au plasma

Le plasma, comme le solide, le liquide ou le gaz, est un état de la matière, également appelé quatrième état de la matière. L'application d'une énergie suffisante au gaz pour l'ioniser le transforme en plasma. Les composants actifs du plasma comprennent : les ions, les électrons, les groupes actifs, les nucléides excités (état métastable), les photons, etc. L'instrument de traitement de surface au plasma exploite les propriétés de ces composants actifs pour traiter la surface de l'échantillon, réalisant ainsi des opérations de nettoyage, de modification, de calcination de résine photosensible, etc.

La structure de la machine de nettoyage au plasma est principalement divisée en trois parties principales, l'unité de commande, la chambre à vide et les pompes à vide.

Les avantages du nettoyage au plasma sont les suivants :

I) L'objet à nettoyer est sec après le nettoyage plasma et peut être acheminé vers le processus suivant sans séchage supplémentaire. Cela permet d'améliorer l'efficacité de traitement de l'ensemble de la chaîne de production ;

2) Le nettoyage au plasma permet aux utilisateurs de rester à l'écart des dommages causés par les solvants nocifs pour le corps humain et évite également le problème d'endommagement facile de l'objet à nettoyer lors du nettoyage humide ;

3) Éviter l'utilisation de solvants nocifs pour l'environnement, comme le trichloroéthane, afin d'éviter la production de polluants nocifs après le nettoyage. Cette méthode de nettoyage est donc écologique et respectueuse de l'environnement. Cet aspect devient de plus en plus important à l'heure où la protection de l'environnement est une préoccupation majeure dans le monde.

4) Le plasma généré par les hautes fréquences radioélectriques est différent de la lumière directe, comme celle des lasers. Le plasma est peu directionnel, ce qui lui permet de pénétrer dans les plus petits trous et recoins d'un objet pour effectuer le nettoyage. Il n'est donc pas nécessaire de tenir compte de la forme de l'objet à nettoyer. De plus, l'effet nettoyant sur ces zones difficiles à nettoyer est similaire, voire supérieur, à celui du nettoyage au fréon.

5) Le nettoyage au plasma améliore considérablement l'efficacité du nettoyage. Le processus de nettoyage complet peut être réalisé en quelques minutes, offrant ainsi un rendement élevé.

6) Le degré de vide requis pour le nettoyage plasma est d'environ 100 Pa, ce qui est facile à obtenir. Par conséquent, le coût de cet appareil est faible et le processus de nettoyage ne nécessite pas l'utilisation de solvants organiques coûteux, ce qui le rend plus économique qu'un nettoyage humide traditionnel.

7) Le nettoyage au plasma évite le transport, le stockage et le rejet de fluides de nettoyage, de sorte que le site de production est facile à maintenir propre et hygiénique ;

8) Le nettoyage plasma peut être utilisé quel que soit l'objet du traitement. Il permet de traiter une grande variété de matériaux, qu'il s'agisse de métaux, de semi-conducteurs, d'oxydes ou de polymères (tels que le polypropylène, le chlorure de polyvinyle, le polytétrafluoroéthylène, le polyimide, le polyester, la résine époxy et d'autres polymères). Il est donc particulièrement adapté aux matériaux résistants à la chaleur et aux solvants. De plus, la structure globale, partielle ou complexe du matériau peut être nettoyée de manière sélective.

9) Lors du nettoyage et de la décontamination, les propriétés de surface du matériau lui-même peuvent également être améliorées. Par exemple, l'amélioration des propriétés de mouillage de la surface et de l'adhérence du film est essentielle dans de nombreuses applications.