Lurruntze erresistentea

Hutsean lurruntzea, lurrunketa deitzen dena, estaldura-materiala (edo film-materiala) lurruntzeko eta berotze- eta lurruntze-metodo jakin baten bidez lurruntzeko prozesu-metodoari egiten zaio erreferentzia huts-baldintzetan, eta partikulak substratuaren gainazalera hegan egiten dute film bat sortzeko. Lurruntzea lurrun-deposizioaren teknologia lehenagokoa eta erabiliena da, filmak sortzeko metodo sinplearen abantailak dituena, film mehearen purutasun eta trinkotasun handikoa eta filmaren egitura eta errendimendu berezia.

Lurruntze-prozesu fisikoak honako hauek barne hartzen ditu: metatutako materialaren lurrunketa edo sublimazioa gas-partikulatan → lurrunketa-iturritik substratuaren gainazalera gas-partikulen garraio azkarra → gas-partikulak substratuaren gainazalean lotzen dira nukleatzeko, film solido batean hazteko → film meheko atomoen berreraikitzeko edo lotura kimikoak sortzeko.

Substratua huts-ganbera batean jartzen da eta erresistentzia, elektroi-izpiaren, laserraren eta beste metodo batzuen bidez berotzen da filmaren materiala lurruntzeko edo sublimatzeko eta partikulatan (atomoak, molekulak edo multzoak) energia jakin batekin (0,1 ~ 0,3eV) lurruntzeko. Gas-partikulak substratura garraiatzen dira funtsean talkarik gabeko mugimendu linealean, eta substratuaren gainazalera iristen diren partikula batzuk islatzen dira, eta beste zatia substratuan xurgatu eta gainazalean hedatzen da, metatutako atomoen artean bi dimentsioko talkak sortuz, multzoak sortzeko, eta batzuk denbora laburrean egon daitezke gainazalean eta gero lurrundu. Partikula multzoek etengabe talka egiten dute partikula difusekin, partikula bakanak xurgatuz edo igortuz. Prozesu hau behin eta berriz errepikatzen da, eta bildutako partikulen kopuruak balio kritiko jakin bat gainditzen duenean, nukleo egonkor bihurtzen da, eta gero partikulak xurgatzen eta hedatzen jarraitzen du eta pixkanaka hazten jarraitzen du, eta, azkenik, etengabeko film mehe bat eratzen du ondoko nukleo egonkorren kontaktuaren eta batearen bidez.

Saturazio-lurrun-presioa (PV): Hutseko ganbera batean lurrundutako materialaren lurruna tenperatura jakin batean solido edo likido batekin orekan dagoen presioa. Saturazio-lurrunaren presioaren eta tenperaturaren arteko erlazio kurbak garrantzi handia du filmak fabrikatzeko teknologiarentzat, eta horrek lurrunketa-materialak arrazionalki hautatzen eta lurruntze-baldintzak zehazten lagun diezaguke.