E-Beam lurrunketa
Elektronien izpiaren lurrunketa lurrun-jadapen fisiko mota bat da. Lurruntze-metodo tradizionalak ez bezala, elektroi-izpiaren lurrunketak eremu elektromagnetikoen koordinazioa erabiltzen du energia handiko elektroien erabilera zehaztasunez lortzeko, xede-materiala arragoa bonbardatzeko, urtu eta, ondoren, substratuan uzteko. Elektroi-izpiaren lurrunketak garbitasun handiko eta doitasun handiko filmak jar ditzake.
Elektroi-izpiaren lurrunketak elektroi azeleratuak erabiltzen ditu estaldura-materiala bonbardatzeko. Elektroien energia zinetikoa bero-energia bihurtzen da estaldura-materiala berotzeko eta lurruntzeko eta film bat eratzeko. Elektroi-kanoiak zuzen, eraztun eta E motatan banatzen dira. Elektroi-sorta berotzeko lurrunketaren ezaugarriak energia-dentsitate oso altua lor dezakeela, 109w/cm2-ra arte, eta berokuntza-tenperatura 3000-6000 ℃ irits daiteke. Metal erregogorrak edo konposatuak lurrun ditzake; lurrundutako materiala urez hoztutako arragoa batean jartzen da, arragoa materiala ez kutsatzeko. Elektroi-izpiaren lurrunketaren deposizioak purutasun handiko filmak presta ditzake. Aldi berean, arrago anitz jar daitezke lurrunketa-jarraiketa-gailu berean hainbat substantzia lurruntzea eta jalkitzea aldi berean edo bereizita lortzeko. Material gehienak elektroi-izpiaren lurrunketaren bidez lurrun daitezke.
Elektroi-izpiaren lurrunketak urtze-puntu handiko materialak lurrun ditzake. Eraginkortasun termiko handiagoa, habe-dentsitate handiagoa eta lurruntze-abiadura azkarragoa du erresistentzia orokorraren berokuntza-lurrunketa baino. Ekoiztutako filmak purutasun eta kalitate ona du. Lodiera zehaztasunez kontrolatu daiteke. Asko erabil daiteke material optikoko hainbat film prestatzeko, hala nola purutasun handiko filmak eta beira eroalea.
Elektroi-sorta lurruntzea sarritan erabiltzen da Al, CO, Ni eta Fe, SiO2, ZrO2 filmen aleazio edo oxidozko filmak eta korrosioarekiko eta tenperatura altuko oxidozko filmak prestatzeko.
Funtzioari dagokionez, elektroi-sorta estaltzeko teknologiak ezaugarri hauek ditu:
I) Doitasun handiko estaldura: pelikularen lodieraren eta konposizioaren kontrol zehatza lor dezake, eta horrela propietate zehatzak dituzten filmak prestatzen ditu.
2) Doikuntza sendoa: pelikularen propietate fisikoak eta kimikoak erraz egokitu daitezke aplikazio ezberdinen beharrei erantzuteko.
3). Kalitate handiko filma: prestatutako filmak uniformetasun, dentsitate eta egonkortasun ona ditu.
4) Aplikazio zabala: hainbat material estaltzeko egokia da, metalak, erdieroaleak, oxidoak eta abar barne.
