1. Magnetroni pihustuskate on palju parem kui kaare ioonkate ja seal on vähem jämedaid tilgaosakesi.
2. Kile-substraadi sidumisjõud on parem kui vaakumaurustuskatte oma. Vaakumpaurutuskatmise tehnoloogias on kilekihis olevate aatomite energiaks ainult aurustumisel kantud soojusenergia, mis võrdub 00,1 ~ 0,2 eV; samas kui magnetroni pihustamise tehnoloogias tekitavad kilekihi osakeste energiat argooniioonid ja sihtmärgi pinnaaatomid. Vahetus ja impulsivahetus võivad parandada membraani-aluse sidumisjõudu.
3. Kilekihi koostis on sihtmaterjalile lähedane. Magnetroni pihustamise kilekiht pihustatakse sihtmärgist argooniioonide abil ja kilekihi koostis on sihtmaterjali omale väga lähedane. Sellest tulenev "fraktsioneerimise" või "lagunemise" nähtus on aurustusplaadistamisega võrreldes suhteliselt kerge. Kuid üldiselt tuleb väga rangete toimivusnõuetega funktsionaalse kile katmisel pihustusprotsessi ajal lisada teatud kogus reaktiivgaasi, et kile kileühendi koostis vastaks stöhhiomeetrilisele suhtele, et tagada kile jõudlusnõuded.
4. Kattel on hea kattevõime. Pihustuskatte vaakumrõhk on madal. Gaasi molekulide vaba tee on lühike, kokkupõrke tõenäosus on kõrge ja võrreldes aurustuskattega on kileosakeste hajuvusvõime tugev, katte toimivus on hea ja kile paksus on ühtlane.
5. Pihustav sihtmärk on ala tüüpi katteallikas. Nii tasapinnalise magnetroni pihustussihtmärgi kui ka silindrilise magnetroni sihtmärgi pikkus võib ulatuda 300–3000 mm-ni. Kuigi mõlemad on lineaarsed katteallikad, mis on ühendatud tooriku pideva liikumisega, saab seda katta suurel osal. Kui kile katta klaaspinnale laiusega 3300mm, siis on võimalik saada ühtlane erinevate värvide ja läbilaskvusega kilekiht. Magnetroni pihustamist on laialdaselt kasutatud suure pindalaga õhukeste kilede sadestamiseks.
6. Kasutage tooriku eelpinget. Alguses Magnetroni pihustustehnoloogias. Tänapäeval kasutatakse magnetroni pihustuskatte tehnoloogiat metallalustel laialdaselt ning töödeldavale detailile negatiivse nihkepinge rakendamine kilekihi kvaliteedi parandamiseks on muutunud peamiseks tehnoloogiaks spetsiaalsete funktsionaalsete kilede ja tipptasemel dekoratiivtoodete katmisel.
01








