Wissenschaft und Forschung, Laborbeschichtungsmaschine
Kurzbeschreibung der Maschine
Für Forschungsinstitute, Unternehmenslabore und andere F&E-Einrichtungen bieten wir individuell anpassbare Vakuumbeschichtungsanlagen im Kleinformat an. Dazu gehören unter anderem Magnetron-Sputter-Beschichter, Lichtbogen-Ionen-Beschichter, Aufdampfanlagen, PECVD-Anlagen (Chemical Vapor Deposition) und ALD-Anlagen (Atomlagenabscheidung). Wir entwickeln auch multifunktionale Verbundbeschichtungsanlagen, die den vielfältigen Anforderungen von Forschungsinstituten und Unternehmenslaboren gerecht werden.
Kurzbeschreibung der Maschine
- .Es können verschiedene Strukturen hergestellt werden, beispielsweise als Glockentyp, Kastentyp, kontinuierlicher Typ, Rollentyp usw. Ausgestattet mit Magnetron-Sputterkathode, Lichtbogenquelle, E-Gun-Verdampfungsquelle, Laserbeschichtungsquelle, PECVD-Elektrode und anderen Beschichtungssystemen.
- .Zu den optionalen zusätzlichen Beschichtungssystemen gehören: Heizen und Backen, Impulsvorspannung, Ionenquelle, Ionenbeschuss, HF- oder Mikrowellenentladungsgerät je nach Bedarf des Benutzers.
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