Kathodische Lichtbögen lon

tecsun Die Eigenschaften und Anwendung der Ionenplattierung

Beim Multi-Arc-Ionenplattieren wird Metall mittels Lichtbogenentladung direkt auf ein festes Kathodenmaterial verdampft. Das verdampfte Material sind die Ionen des Kathodenmaterials, die vom hellen Punkt des Kathodenbogens emittiert werden und so einen dünnen Film auf der Substratoberfläche ablagern.

Vorteile der Mehrbogen-Ionenplattierung

(1) Plasma wird direkt von der Kathode erzeugt, ohne dass ein Schmelzbad erforderlich ist. Das Kathodentarget kann entsprechend der Form des Werkstücks in jede beliebige Richtung ausgerichtet werden, was die Vorrichtung erheblich vereinfacht.

(2) Die einfallende Teilchenenergie ist hoch, der Film weist eine hohe Dichte, gute Festigkeit und Haltbarkeit sowie eine gute Haftfestigkeit auf.

(3) Die Ionisierungsrate ist hoch und erreicht im Allgemeinen 60–80 %.

(4) Aus anwendungstechnischer Sicht ist die schnelle Verdampfungsrate sein herausragender Vorteil.

Filmtyp

Filmmaterial

Substrat

Filmeigenschaften und Anwendung

Metallfolie

KI、Zn

Haben,Mit、KI

P、Bei

Bei、IN、Von、Verkleidung

Bei、Bei、KI、Pt

Stahl, Weichstahl

Titanlegierung, Kohlenstoffstahl, Weichstahl

Titanlegierung

Hartglas

Plastik

Nickel, Inconel

Stahl, Edelstahl

Silizium

Verschleißschutz (mechanische Teile)

Korrosionsschutz (Flugzeuge, Schiffe, Autos)

Antioxidation, Anti-Ermüdung

verschleißfest

Erhöhte Reflektivität, Dekoration

glatt

Hitzebeständigkeit (Auspuffrohre, Autos, Flugzeugtriebwerke)

Elektrische Kontakte, Leitungen

Legierung

AI Bronze

Co-Cr-Al-Y

Edelstahl

Mittel- und hochkohlenstoffhaltiger Stahl

Nickellegierungen, Hochtemperaturlegierungen

Plastik

Schmierung (mit hoher Geschwindigkeit rotierende Teile)

Antioxidationsmittel

schmücken

Nichtmetallisch

Titan

Silizium, Eisen, Aluminium, Glas

verschleißfest

Korrosionsschutz

chemische Verbindung

chemische VerbindungTiN

AIN

CrN

SI3N4

TiC

Verschiedene Stahlsorten

Für

Korrosionsschutz, Verschleißschutz (mechanische Kleinarbeiten, Werkzeuge)

Antioxidationsmittel

verschleißfest

Antioxidationsmittel

Abriebfest (superharte Werkzeuge)

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