Sputtering.PVD
1. Magnetronforstøvningsbelægning er meget bedre end lysbueionbelægning, og der er færre grove dråbepartikler.
2. Film-substrat-bindingskraften er bedre end vakuumfordampningsbelægningen. I vakuumfordampningsbelægningsteknologien er energien af atomerne i filmlaget kun den varmeenergi, der transporteres under fordampningen, hvilket svarer til 00,1~0,2eV; mens i magnetron-forstøvningsbelægningsteknologien genereres energien af filmlagspartiklerne af argonionerne og overfladeatomerne i målet. Udvekslingen og momentumudvekslingen kan forbedre membran-base-bindingskraften.
3. Sammensætningen af filmlaget er tæt på målmaterialet. Filmlaget af magnetronforstøvning sputteres fra målet af argonioner, og sammensætningen af filmlaget er meget tæt på målmaterialets. Det resulterende "fraktionerings"- eller "nedbrydnings"-fænomen er relativt let sammenlignet med fordampningsplettering. Men generelt, når man belægger en funktionel film med meget strenge ydeevnekrav, skal der tilsættes en vis mængde reaktiv gas under sputteringsprocessen for at få filmens sammensatte filmsammensætning til at opfylde det støkiometriske forhold for at sikre filmens ydeevnekrav.
4. Belægningen har god belægningsydelse. Vakuumtrykket af sputterbelægningen er lavt. Den frie vej for gasmolekyler er kort, kollisionssandsynligheden er høj, og sammenlignet med fordampningsbelægning er spredningsevnen af filmpartikler stærk, belægningens ydeevne er god, og filmtykkelsen er ensartet.
5. Sputtering-mål er en overfladetype-belægningskilde. Længden af både det plane Magnetron-sputtermål og det cylindriske magnetronmål kan nå 300 ~ 3000 mm. Selvom begge er lineære belægningskilder, kombineret med arbejdsemnets kontinuerlige bevægelse, kan det belægges på et stort område af dele. Hvis en film coates på en glasoverflade med en bredde på 3300 mm, kan der opnås et ensartet filmlag med forskellige farver og transmittans. Magnetronsputtering er blevet brugt i vid udstrækning til at afsætte tynde film med store arealer.
6. Brug forspænding til emnet. Først i Magnetron-forstøvningsteknologien. I dag er magnetronforstøvningsbelægningsteknologi meget udbredt på metalsubstrater, og påføring af negativ forspænding på emnet for at forbedre kvaliteten af filmlaget er blevet den almindelige teknologi til belægning af specielle funktionelle film og avancerede dekorative produkter.
