Ysgythriad
Egwyddorion sylfaenol ysgythru sych
1. Adwaith nwy**: Mewn ysgythru sych, mae nwyon fel fflworid a chlorid fel arfer yn cael eu defnyddio fel ysgythriadau. Mae'r nwyon hyn yn adweithio gyda'r deunydd i'w ysgythru mewn cyflwr plasma i ffurfio sgil-gynhyrchion anweddol.
2. Cynhyrchu plasma**: Mae'r nwy yn cael ei drawsnewid yn blasma trwy gyffro amledd radio (RF) neu gyffro microdon. Yn y plasma, mae'r moleciwlau nwy yn cael eu ïoneiddio i gynhyrchu radicalau rhydd ac ïonau, a all adweithio'n effeithiol â'r deunydd.
3. Ysgythriad detholus**: Gall ysgythru sych gyflawni detholiad uchel a gall dynnu deunyddiau penodol yn ddetholus tra'n gadael deunyddiau eraill heb eu newid. Mae hyn yn bwysig iawn ar gyfer prosesu strwythurau cymhleth.
Cymwysiadau ysgythriad sych
- Gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion: Defnyddir ar gyfer trosglwyddo patrwm ar wafferi silicon i ffurfio cylchedau.
- Gweithgynhyrchu MEMS: Prosesu strwythurol systemau microelectromecanyddol.
- Optoelectroneg: Gweithgynhyrchu cydrannau optoelectroneg fel laserau a synwyryddion.
