Naprašování.PVD
1. Magnetronový naprašovací povlak je mnohem lepší než povlak iontovým obloukem a obsahuje méně hrubých částic kapiček.
2. Síla spojení filmu a substrátu je lepší než u povlaku vakuového odpařování. V technologii vakuového odpařování je energie atomů ve vrstvě filmu pouze tepelná energie přenášená během odpařování, což je ekvivalentní 00,1~0,2eV; zatímco v technologii magnetronového naprašování je energie částic filmové vrstvy generována argonovými ionty a povrchovými atomy terče. Výměna a výměna hybnosti může zlepšit vazebnou sílu membrány.
3. Složení filmové vrstvy je blízké cílovému materiálu. Vrstva filmu magnetronového naprašování je naprašována z terče argonovými ionty a složení vrstvy filmu je velmi blízké složení materiálu terče. Výsledný jev "frakcionace" nebo "rozkladu" je relativně lehký ve srovnání s odpařováním. Obecně však při potahování funkčního filmu s velmi přísnými požadavky na výkon musí být během procesu naprašování přidáno určité množství reaktivního plynu, aby složení složeného filmu filmu odpovídalo stechiometrickému poměru, aby byly zajištěny požadavky na výkon filmu.
4. Povlak má dobré vlastnosti povlaku. Vakuový tlak naprašovacího povlaku je nízký. Volná dráha molekul plynu je krátká, pravděpodobnost kolize je vysoká a ve srovnání s odpařovacím povlakem je schopnost rozptylu částic filmu silná, výkon povlaku je dobrý a tloušťka filmu je rovnoměrná.
5. Rozprašovací terč je povrchový zdroj povlaku. Délka rovinného magnetronového naprašovacího terče i válcového magnetronového terče může dosáhnout 300~3000 mm. Přestože oba jsou lineárními zdroji povlaků, spojenými s nepřetržitým pohybem obrobku, lze jej povlékat na velké ploše dílů. Pokud je fólie potažena na skleněný povrch o šířce 3300 mm, lze získat jednotnou vrstvu fólie s různými barvami a propustností. Magnetronové naprašování bylo široce používáno při nanášení velkoplošných tenkých filmů.
6. Použijte předpětí na obrobek. Nejprve v technologii naprašování Magnetron. V současné době je technologie magnetronového naprašování široce používána na kovových substrátech a aplikace záporného předpětí na obrobek pro zlepšení kvality filmové vrstvy se stala hlavní technologií pro potahování speciálních funkčních filmů a špičkových dekorativních výrobků.
