Odporové odpařování

Vakuové odpařování, označované jako odpařování, označuje procesní metodu odpařování potahového materiálu (nebo filmového materiálu) a jeho odpařování určitým způsobem ohřevu a odpařování za podmínek vakua, přičemž částice létají na povrch substrátu za vzniku filmu. Odpařování je dřívější a nejrozšířenější technologie napařování, která má výhody jednoduchého způsobu tvorby filmu, vysoké čistoty a kompaktnosti tenkého filmu a jedinečné struktury a výkonu filmu.

Fyzikální proces vypařování zahrnuje: vypařování nebo sublimaci usazeného materiálu na plynné částice→ rychlý transport plynných částic ze zdroje odpařování na povrch substrátu→ plynné částice se přichytí na povrch substrátu, aby nukleovaly, přerostly do pevného filmu→ rekonstituce atomů tenkého filmu nebo chemická vazba.

Substrát je umístěn ve vakuové komoře a zahříván odporem, elektronovým paprskem, laserem a dalšími metodami k odpaření nebo sublimaci filmového materiálu a jeho odpaření na částice (atomy, molekuly nebo shluky) s určitou energií (0,1~0,3eV). Plynné částice jsou transportovány k substrátu lineárním pohybem, který je v podstatě bezkolizní, a některé částice, které dosáhnou povrchu substrátu, se odrážejí a druhá část je adsorbována na substrátu a šíří se po povrchu, což má za následek dvourozměrné srážky mezi uloženými atomy za vzniku shluků a některé mohou zůstat na povrchu na krátkou dobu a poté se odpařit. Shluky částic se neustále srážejí s difúzními částicemi, které buď adsorbují, nebo emitují jednotlivé částice. Tento proces se opakovaně opakuje, a když počet nashromážděných částic překročí určitou kritickou hodnotu, stane se stabilním jádrem a poté pokračuje v adsorpci a difuzi částic a postupně roste a nakonec vytvoří souvislý tenký film prostřednictvím kontaktu a sloučení sousedních stabilních jader.

Tlak nasycených par (PV): Tlak, při kterém je pára odpařovaného materiálu ve vakuové komoře v rovnováze s pevnou látkou nebo kapalinou při určité teplotě. Křivka vztahu mezi tlakem nasycené páry a teplotou má velký význam pro technologii výroby fólie, která nám může pomoci racionálně vybrat odpařovací materiály a určit podmínky odpařování.