Sputtering.PVD
1. Magnetronsko raspršivanje je mnogo bolje od ionskog premaza i ima manje čestica krupnih kapljica.
2. Sila vezivanja filma i podloge je bolja od sile premaza vakuumskog isparavanja. U tehnologiji presvlačenja vakuumskim isparavanjem, energija atoma u sloju filma je samo toplotna energija koja se prenosi tokom isparavanja, što je ekvivalentno 00,1~0,2eV; dok u tehnologiji magnetronskog raspršivanja, energiju čestica sloja filma stvaraju joni argona i površinski atomi mete. Razmjena i razmjena zamaha mogu poboljšati silu vezivanja na bazi membrane.
3. Sastav sloja filma je blizak ciljnom materijalu. Filmski sloj magnetronskog raspršivanja je raspršen sa mete jonima argona, a sastav filmskog sloja je vrlo blizak onom ciljnog materijala. Rezultirajući fenomen "frakcioniranja" ili "razgradnje" je relativno lagan u poređenju sa evaporacijom. Međutim, općenito kada se premazi funkcionalni film s vrlo strogim zahtjevima performansi, određena količina reaktivnog plina mora se dodati tokom procesa raspršivanja kako bi sastav filma filma ispunio stehiometrijski omjer kako bi se osigurali zahtjevi za performanse filma.
4. Premaz ima dobre performanse premaza. Vakumski pritisak premaza za raspršivanje je nizak. Slobodni put molekula plina je kratak, vjerojatnost sudara je velika, a u poređenju sa premazom isparavanjem, sposobnost raspršivanja čestica filma je jaka, performanse prevlake su dobre, a debljina filma je ujednačena.
5. Meta za raspršivanje je izvor premaza na površini. Dužina i ravne magnetronske mete za raspršivanje i cilindrične magnetronske mete može doseći 300~3000 mm. Iako su oba linearni izvori premaza, zajedno s kontinuiranim kretanjem radnog komada, može se premazati na velikoj površini dijelova. Ako se film nanese na staklenu površinu širine 3300 mm, može se dobiti ujednačen sloj filma različitih boja i propustljivosti. Magnetronsko raspršivanje se široko koristi za nanošenje tankih filmova velike površine.
6. Koristite prednapon na radnom komadu. Isprva, u tehnologiji Magnetron raspršivanja. Danas se tehnologija nanošenja premaza magnetronskim raspršivanjem široko koristi na metalnim podlogama, a primjena negativnog napona na obradak radi poboljšanja kvalitete sloja filma postala je glavna tehnologija za premazivanje specijalnih funkcionalnih filmova i vrhunskih dekorativnih proizvoda.
