Müqavimətli buxarlanma

Buxarlanma adlanan vakuum buxarlanma, örtük materialının (və ya plyonka materialının) buxarlanması və vakuum şəraitində müəyyən bir qızdırma və buxarlanma üsulu ilə buxarlanması prosesi üsuluna aiddir və hissəciklər bir film yaratmaq üçün substratın səthinə uçur. Buxarlanma sadə təbəqə əmələ gətirmə üsulu, nazik təbəqənin yüksək saflığı və yığcamlığı, unikal plyonka quruluşu və performansı kimi üstünlüklərə malik olan daha erkən və ən çox istifadə edilən buxar çökdürmə texnologiyasıdır.

Buxarlanmanın fiziki prosesinə aşağıdakılar daxildir: çökdürülmüş materialın qaz hissəciklərinə buxarlanması və ya sublimasiyası → qaz hissəciklərinin buxarlanma mənbəyindən substratın səthinə sürətlə daşınması → qaz hissəcikləri substratın səthinə nüvələşir, bərk təbəqəyə çevrilir → nazik təbəqə atomlarının yenidən qurulması və ya kimyəvi maddələrin əmələ gəlməsi.

Substrat vakuum kamerasına yerləşdirilir və film materialını buxarlamaq və ya sublimasiya etmək və müəyyən enerji ilə (0,1 ~ 0,3eV) hissəciklərə (atomlara, molekullara və ya çoxluqlara) buxarlaşdırmaq üçün müqavimət, elektron şüa, lazer və digər üsullarla qızdırılır. Qaz hissəcikləri, əsasən toqquşmadan, xətti hərəkətlə substrata daşınır və substratın səthinə çatan hissəciklərin bir hissəsi əks olunur, digər hissəsi isə substratda adsorbsiya olunur və səthə yayılır, nəticədə çökdürülmüş atomlar arasında iki ölçülü toqquşmalar meydana gəlir və çoxluqlar əmələ gəlir və bəziləri daha sonra qısa müddət ərzində səthdə qala bilər. Hissəciklərin çoxluqları diffuz hissəciklərlə davamlı olaraq toqquşur, ya adsorbsiya edir, ya da tək hissəciklər buraxır. Bu proses dəfələrlə təkrarlanır və yığılan zərrəciklərin sayı müəyyən kritik həddi aşdıqda o, sabit nüvəyə çevrilir, sonra isə hissəcikləri adsorbsiya və diffuzasiya etməyə davam edir və tədricən böyüyür və nəhayət, bitişik sabit nüvələrin təması və birləşməsi nəticəsində davamlı nazik təbəqə əmələ gətirir.

Doyma buxar təzyiqi (PV): Vakuum kamerasında buxarlanmış materialın buxarının müəyyən bir temperaturda bərk və ya maye ilə tarazlıqda olduğu təzyiq. Doyma buxarının təzyiqi ilə temperatur arasındakı əlaqə əyrisi film istehsalı texnologiyası üçün böyük əhəmiyyət kəsb edir ki, bu da bizə buxarlanma materiallarını rasional seçməyə və buxarlanma şəraitini təyin etməyə kömək edə bilər.