التبخير.PVD
1. طلاء الرش المغناطيسي أفضل بكثير من طلاء الأيونات القوسية، ويحتوي على جزيئات قطرات أقل خشونة.
٢. قوة ربط الغشاء بالركيزة أفضل من قوة ربط طلاء التبخير الفراغي. في تقنية طلاء التبخير الفراغي، تكون طاقة الذرات في طبقة الغشاء هي الطاقة الحرارية المحمولة أثناء التبخير فقط، والتي تعادل ٠.١ إلى ٠.٢ إلكترون فولت؛ بينما في تقنية طلاء الرش المغناطيسي، تُولّد طاقة جزيئات طبقة الغشاء بواسطة أيونات الأرجون وذرات سطح الهدف. يُحسّن التبادل وتبادل الزخم قوة ربط الغشاء بالقاعدة.
٣. تركيب طبقة الفيلم قريب من تركيب المادة المستهدفة. تُرش طبقة الفيلم الناتجة عن عملية الرش المغنطروني من الهدف بواسطة أيونات الأرجون، ويكون تركيب طبقة الفيلم قريبًا جدًا من تركيب المادة المستهدفة. تُعتبر ظاهرة "التجزئة" أو "التحلل" الناتجة خفيفة نسبيًا مقارنةً بالطلاء بالتبخير. ومع ذلك، عند طلاء فيلم وظيفي ذي متطلبات أداء صارمة للغاية، يجب إضافة كمية معينة من الغاز التفاعلي أثناء عملية الرش لجعل تركيب الفيلم المركب يتوافق مع النسبة المتكافئة لضمان متطلبات أداء الفيلم.
٤. يتميز الطلاء بأداء طلاء جيد. ضغط الفراغ الناتج عن الرش منخفض، والمسار الحر لجزيئات الغاز قصير، واحتمالية التصادم عالية. وبالمقارنة مع طلاء التبخر، فإن قدرة تشتت جزيئات الغشاء قوية، وأداء الطلاء ممتاز، وسمك الغشاء موحد.
٥. هدف الرش المغناطيسي هو مصدر طلاء مساحي. يمكن أن يصل طول كلٍّ من هدف الرش المغناطيسي المستوي وهدف الرش المغناطيسي الأسطواني إلى ٣٠٠-٣٠٠٠ مم. على الرغم من أن كلاهما مصدر طلاء خطي، إلا أنه بفضل الحركة المستمرة لقطعة العمل، يمكن طلاءهما على مساحة كبيرة من الأجزاء. عند طلاء غشاء على سطح زجاجي بعرض ٣٣٠٠ مم، يمكن الحصول على طبقة غشاء موحدة بألوان ونفاذية مختلفة. يُستخدم الرش المغناطيسي على نطاق واسع في ترسيب الأغشية الرقيقة ذات المساحات الكبيرة.
٦. تطبيق جهد انحياز على قطعة العمل. في البداية، كان ذلك في تقنية الرش المغناطيسي. أما اليوم، فتُستخدم تقنية طلاء الرش المغناطيسي على نطاق واسع على الركائز المعدنية، وقد أصبح تطبيق جهد انحياز سلبي على قطعة العمل لتحسين جودة طبقة الفيلم التقنية السائدة في طلاء الأغشية الوظيفية الخاصة والمنتجات الزخرفية الراقية.
