ማሳከክ
የደረቅ ማሳከክ መሰረታዊ መርሆች
1. የጋዝ ምላሽ**፡- በደረቅ ማሳከክ ወቅት እንደ ፍሎራይድ እና ክሎራይድ ያሉ ጋዞች አብዛኛውን ጊዜ እንደ ኤትቻንት ይጠቀማሉ። እነዚህ ጋዞች በፕላዝማ ሁኔታ ውስጥ ከሚቀረጹት ነገሮች ጋር ተለዋዋጭ የሆኑ ተረፈ ምርቶችን ይፈጥራሉ።
2. ፕላዝማ ማመንጨት ***፡ ጋዙ በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) አበረታች ወይም በማይክሮዌቭ መነቃቃት ወደ ፕላዝማ ይቀየራል። በፕላዝማ ውስጥ, የጋዝ ሞለኪውሎች ionized ናቸው ነፃ radicals እና ions ለማምረት, ይህም ከቁስ ጋር ውጤታማ በሆነ መንገድ ምላሽ መስጠት ይችላል.
3. መራጭ ማሳከክ**፡- ደረቅ ማሳከክ ከፍተኛ የመራጭነት ችሎታን ሊያጎናጽፍ ይችላል እና ሌሎች ቁሶችን ሳይለወጡ በመተው የተወሰኑ ቁሳቁሶችን በመምረጥ ያስወግዳል። ይህ ውስብስብ መዋቅሮችን ለማቀነባበር በጣም አስፈላጊ ነው.
የደረቁ ማሳከክ መተግበሪያዎች
- ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፡- ወረዳዎችን ለመፍጠር በሲሊኮን ዋፍሮች ላይ ለስርዓተ-ጥለት ማስተላለፍ ይጠቅማል።
- MEMS ማኑፋክቸሪንግ-የማይክሮኤሌክትሮ መካኒካል ሥርዓቶች መዋቅራዊ ሂደት።
- ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፡- እንደ ሌዘር እና ዳሳሾች ያሉ የኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ ክፍሎችን ማምረት።
