Kuru aşındırmanın temel prensipleri
1. Gaz reaksiyonu**: Kuru aşındırmada, florür ve klorür gibi gazlar genellikle aşındırıcı olarak kullanılır. Bu gazlar, aşındırılacak malzemeyle plazma halinde reaksiyona girerek uçucu yan ürünler oluşturur.
2. Plazma üretimi**: Gaz, radyo frekansı (RF) uyarımı veya mikrodalga uyarımı yoluyla plazmaya dönüştürülür. Plazmada, gaz molekülleri serbest radikaller ve iyonlar üretmek için iyonize edilir ve bu da malzemeyle etkili bir şekilde reaksiyona girebilir.
3. Seçici aşındırma**: Kuru aşındırma yüksek seçicilik elde edebilir ve diğer malzemeleri değişmeden bırakırken belirli malzemeleri seçici olarak kaldırabilir. Bu, karmaşık yapıların işlenmesi için çok önemlidir.
Kuru aşındırmanın uygulamaları
- Yarı iletken üretimi: Devre oluşturmak için silikon levhalar üzerine desen aktarımında kullanılır.
- MEMS imalatı: Mikroelektromekanik sistemlerin yapısal işlenmesi.
- Optoelektronik: Lazer ve dedektör gibi optoelektronik bileşenlerin üretimi.
01