Leave Your Message
แอปพลิเคชัน

การทำความสะอาดพลาสม่า

เทคซัน เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า

พลาสมา เช่นเดียวกับของแข็ง ของเหลว หรือก๊าซ เป็นสถานะของสสาร เรียกอีกอย่างว่าสถานะที่สี่ของสสาร การใช้พลังงานในปริมาณที่เพียงพอกับก๊าซเพื่อทำให้แตกตัวจะทำให้ก๊าซเปลี่ยนเป็นสถานะพลาสมา ส่วนประกอบ "ที่ใช้งานได้" ของพลาสมา ได้แก่ ไอออน อิเล็กตรอน กลุ่มที่ใช้งาน นิวไคลด์ที่ถูกกระตุ้น (สถานะกึ่งเสถียร) โฟตอน เป็นต้น เครื่องมือปรับสภาพพื้นผิวพลาสมาใช้คุณสมบัติของส่วนประกอบที่ใช้งานเหล่านี้ในการปรับสภาพพื้นผิวตัวอย่าง จึงบรรลุวัตถุประสงค์ในการทำความสะอาด ปรับเปลี่ยน เผาด้วยโฟโตรีซิสต์ เป็นต้น
โครงสร้างของเครื่องทำความสะอาดพลาสม่าแบ่งออกเป็น 3 ส่วนหลัก ได้แก่ หน่วยควบคุม ห้องสูญญากาศ และปั๊มสูญญากาศ
ข้อดีของการทำความสะอาดด้วยพลาสม่ามีดังนี้:
I) วัตถุทำความสะอาดจะแห้งหลังจากทำความสะอาดด้วยพลาสม่า และสามารถส่งไปยังกระบวนการถัดไปได้โดยไม่ต้องทำให้แห้งอีก ซึ่งสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการประมวลผลของสายการผลิตทั้งหมดได้
2) การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าช่วยให้ผู้ใช้หลีกเลี่ยงอันตรายจากตัวทำละลายที่เป็นอันตรายต่อร่างกายมนุษย์ได้ และยังหลีกเลี่ยงปัญหาความเสียหายที่เกิดกับวัตถุที่ใช้ในการทำความสะอาดจากการทำความสะอาดแบบเปียกได้อีกด้วย
3) หลีกเลี่ยงการใช้ตัวทำละลาย ODS ที่เป็นอันตราย เช่น ไตรคลอโรอีเทน เพื่อไม่ให้เกิดมลพิษที่เป็นอันตรายหลังจากทำความสะอาด ดังนั้นวิธีการทำความสะอาดนี้จึงเป็นวิธีทำความสะอาดที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ซึ่งกำลังมีความสำคัญเพิ่มมากขึ้น เนื่องจากโลกให้ความสำคัญกับการปกป้องสิ่งแวดล้อมมากขึ้น
4) พลาสมาที่เกิดจากคลื่นความถี่สูงในช่วงคลื่นวิทยุนั้นแตกต่างจากแสงโดยตรง เช่น เลเซอร์ พลาสมาไม่ได้มีทิศทางชัดเจน ซึ่งทำให้สามารถทะลุผ่านรูเล็กๆ และช่องว่างของวัตถุเพื่อทำความสะอาดได้ ดังนั้น จึงไม่จำเป็นต้องคำนึงถึงรูปร่างของวัตถุที่จะทำความสะอาดมากเกินไป นอกจากนี้ ผลการทำความสะอาดบริเวณที่ทำความสะอาดยากเหล่านี้ยังคล้ายคลึงหรือดีกว่าการทำความสะอาดด้วยฟรีออนด้วยซ้ำ
5) การใช้พลาสม่าทำความสะอาดสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความสะอาดได้อย่างมาก กระบวนการทำความสะอาดทั้งหมดสามารถเสร็จสิ้นได้ภายในไม่กี่นาที จึงมีคุณลักษณะของผลผลิตสูง
6) ระดับสูญญากาศที่ต้องควบคุมสำหรับการทำความสะอาดด้วยพลาสม่าอยู่ที่ประมาณ 100Pa และสภาพการทำความสะอาดนี้ทำได้ง่าย ดังนั้น ต้นทุนอุปกรณ์ของอุปกรณ์นี้จึงไม่สูง และกระบวนการทำความสะอาดไม่จำเป็นต้องใช้ตัวทำละลายอินทรีย์ที่มีราคาแพง ซึ่งทำให้ต้นทุนโดยรวมต่ำกว่ากระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกแบบดั้งเดิม
7) การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าช่วยหลีกเลี่ยงการขนส่ง การจัดเก็บ และการปล่อยของเหลวทำความสะอาด ดังนั้นสถานที่ผลิตจึงสามารถรักษาความสะอาดและถูกสุขอนามัยได้อย่างง่ายดาย
8) การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าสามารถใช้ได้โดยไม่คำนึงถึงวัตถุประสงค์ของการบำบัด สามารถบำบัดวัสดุต่างๆ ได้หลากหลาย ไม่ว่าจะเป็นโลหะ เซมิคอนดักเตอร์ ออกไซด์ หรือวัสดุพอลิเมอร์ (เช่น พอลิโพรพิลีน โพลิไวนิลคลอไรด์ โพลิเตตระฟลูออโรเอทิลีน โพลิอิไมด์ โพลีเอสเตอร์ เรซินอีพอกซี และพอลิเมอร์อื่นๆ) ดังนั้นจึงเหมาะเป็นพิเศษสำหรับวัสดุที่ทนความร้อนและทนต่อตัวทำละลาย นอกจากนี้ โครงสร้างโดยรวม บางส่วน หรือที่ซับซ้อนของวัสดุยังสามารถทำความสะอาดได้ตามความต้องการ
9) ในขณะที่ทำความสะอาดและขจัดสารปนเปื้อน คุณสมบัติของพื้นผิวของวัสดุเองก็สามารถปรับปรุงได้เช่นกัน ตัวอย่างเช่น การปรับปรุงคุณสมบัติการเปียกของพื้นผิวและการปรับปรุงการยึดเกาะของฟิล์มมีความสำคัญมากในการใช้งานหลายๆ ประเภท

เครื่องจักรที่เกี่ยวข้อง