การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนเป็นการสะสมไอทางกายภาพประเภทหนึ่ง ซึ่งแตกต่างจากวิธีการระเหยแบบดั้งเดิม การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนใช้การประสานงานของสนามแม่เหล็กไฟฟ้าเพื่อให้ใช้อิเล็กตรอนพลังงานสูงได้อย่างแม่นยำเพื่อโจมตีวัสดุเป้าหมายในเบ้าหลอม หลอมละลาย แล้วจึงสะสมไว้บนพื้นผิว การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนสามารถสะสมฟิล์มที่มีความบริสุทธิ์และความแม่นยำสูงได้
การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนใช้อิเล็กตรอนที่เร่งความเร็วเพื่อโจมตีวัสดุเคลือบ พลังงานจลน์ของอิเล็กตรอนจะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อนเพื่อให้ความร้อนและระเหยวัสดุเคลือบและสร้างฟิล์ม ปืนอิเล็กตรอนแบ่งออกเป็นแบบตรง แบบวงแหวน และแบบ E ลักษณะเฉพาะของการระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนคือสามารถรับความหนาแน่นของพลังงานได้สูงมาก สูงถึง 109w/cm2 และอุณหภูมิในการให้ความร้อนสามารถสูงถึง 3,000-6,000℃ สามารถระเหยโลหะหรือสารประกอบที่ทนไฟได้ วัสดุที่ระเหยจะถูกวางไว้ในเบ้าหลอมที่ระบายความร้อนด้วยน้ำเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของวัสดุเบ้าหลอม การสะสมด้วยลำแสงอิเล็กตรอนสามารถเตรียมฟิล์มที่มีความบริสุทธิ์สูงได้ ในเวลาเดียวกัน สามารถวางเบ้าหลอมหลายอันในอุปกรณ์การสะสมด้วยการระเหยเดียวกันเพื่อให้เกิดการระเหยและการสะสมของสารต่างๆ ที่หลากหลายพร้อมกันหรือแยกกัน วัสดุส่วนใหญ่สามารถระเหยได้ด้วยการระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอน
การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนสามารถระเหยวัสดุที่มีจุดหลอมเหลวสูงได้ มีประสิทธิภาพความร้อนสูงกว่า ความหนาแน่นของลำแสงมากกว่า และความเร็วในการระเหยเร็วกว่าการระเหยด้วยความร้อนแบบความต้านทานทั่วไป ฟิล์มที่ผลิตได้มีความบริสุทธิ์สูงและคุณภาพดี สามารถควบคุมความหนาได้อย่างแม่นยำ สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในการเตรียมฟิล์มวัสดุออปติกต่างๆ เช่น ฟิล์มที่มีความบริสุทธิ์สูงและกระจกนำไฟฟ้า
การระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนมักใช้ในการเตรียมฟิล์มโลหะผสมหรือออกไซด์ของฟิล์ม Al, CO, Ni และ Fe, SiO2, ZrO2 และฟิล์มออกไซด์ที่ทนต่อการกัดกร่อนและทนต่ออุณหภูมิสูง
ในด้านการทำงาน เทคโนโลยีการเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนมีลักษณะดังต่อไปนี้:
I) การเคลือบที่มีความแม่นยำสูง: สามารถควบคุมความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ จึงเตรียมฟิล์มที่มีคุณสมบัติเฉพาะ
2) ปรับได้หลากหลาย: คุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมีของฟิล์มสามารถปรับได้อย่างง่ายดาย เพื่อตอบสนองความต้องการของแอพพลิเคชั่นที่แตกต่างกัน
3) ฟิล์มคุณภาพสูง: ฟิล์มที่เตรียมไว้มีความสม่ำเสมอ ความหนาแน่น และความเสถียรที่ดี
4) มีขอบเขตการใช้งานที่หลากหลาย: เหมาะสำหรับการเคลือบวัสดุต่างๆ มากมาย รวมถึงโลหะ เซมิคอนดักเตอร์ ออกไซด์ และอื่นๆ
01