1>. Evaporação a vácuo
Evaporação a vácuo, referida como evaporação, refere-se ao método de processo de evaporação do material de revestimento (ou material de filme) e vaporização por um certo método de aquecimento e evaporação sob condições de vácuo, e as partículas voam para a superfície do substrato para formar um filme. A evaporação é uma tecnologia de deposição de vapor mais antiga e amplamente usada, que tem as vantagens do método simples de formação de filme, alta pureza e compactação de filme fino e estrutura e desempenho de filme exclusivos.
2>. Princípio de funcionamento
O processo físico de evaporação inclui: a evaporação ou sublimação do material depositado em partículas gasosas → o transporte rápido de partículas gasosas da fonte de evaporação para a superfície do substrato → as partículas gasosas se fixam à superfície do substrato para nuclear, crescer em um filme sólido → reconstituição de átomos de filme fino ou produzir ligação química.
O substrato é colocado em uma câmara de vácuo e aquecido por resistência, feixe de elétrons, laser e outros métodos para evaporar ou sublimar o material do filme e vaporizá-lo em partículas (átomos, moléculas ou aglomerados) com uma certa energia (0,1~0,3eV). As partículas gasosas são transportadas para o substrato em um movimento linear que é basicamente livre de colisões, e algumas das partículas que atingem a superfície do substrato são refletidas, e a outra parte é adsorvida no substrato e se espalha na superfície, resultando em colisões bidimensionais entre os átomos depositados para formar aglomerados, e alguns podem permanecer na superfície por um curto período de tempo e então evaporar. Aglomerados de partículas estão constantemente colidindo com partículas difusas, adsorvendo ou emitindo partículas únicas. Este processo é repetido repetidamente, e quando o número de partículas reunidas excede um certo valor crítico, ele se torna um núcleo estável, e então continua a adsorver e difundir partículas e cresce gradualmente, e finalmente forma um filme fino contínuo através do contato e fusão de núcleos estáveis adjacentes.
3>. Parâmetros-chave
Pressão de vapor de saturação (PV): A pressão na qual o vapor do material evaporado em uma câmara de vácuo está em equilíbrio com um sólido ou líquido a uma certa temperatura. A curva de relacionamento entre pressão de vapor de saturação e temperatura é de grande importância para a tecnologia de fabricação de filmes, o que pode nos ajudar a selecionar racionalmente materiais de evaporação e determinar condições de evaporação.
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