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Evaporação de feixe de elétrons

tecsun Evaporação de feixe de elétrons

A evaporação por feixe de elétrons é um tipo de deposição física de vapor. Ao contrário dos métodos tradicionais de evaporação, a evaporação por feixe de elétrons usa a coordenação de campos eletromagnéticos para atingir com precisão o uso de elétrons de alta energia para bombardear o material alvo no cadinho, derretê-lo e então depositá-lo no substrato. A evaporação por feixe de elétrons pode depositar filmes de alta pureza e alta precisão.

A evaporação do feixe de elétrons usa elétrons acelerados para bombardear o material de revestimento. A energia cinética dos elétrons é convertida em energia térmica para aquecer e evaporar o material de revestimento e formar um filme. As armas de elétrons são divididas em tipos direto, anel e E. As características da evaporação de aquecimento do feixe de elétrons são que ela pode obter densidade de energia extremamente alta, até 109w/cm2, e a temperatura de aquecimento pode atingir 3000-6000℃. Ela pode evaporar metais ou compostos refratários; o material evaporado é colocado em um cadinho resfriado a água para evitar a contaminação do material do cadinho. A deposição de evaporação do feixe de elétrons pode preparar filmes de alta pureza. Ao mesmo tempo, vários cadinhos podem ser colocados no mesmo dispositivo de deposição de evaporação para obter evaporação e deposição simultâneas ou separadas de uma variedade de substâncias diferentes. A maioria dos materiais pode ser evaporada pela evaporação do feixe de elétrons.
A evaporação do feixe de elétrons pode evaporar materiais de alto ponto de fusão. Tem maior eficiência térmica, maior densidade de feixe e velocidade de evaporação mais rápida do que a evaporação de aquecimento por resistência geral. O filme produzido tem alta pureza e boa qualidade. A espessura pode ser controlada com precisão. Pode ser amplamente usado para preparar vários filmes de materiais ópticos, como filmes de alta pureza e vidro condutor.
A evaporação por feixe de elétrons é frequentemente usada para preparar filmes de liga ou óxido de Al, CO, Ni e Fe, filmes de SiO2, ZrO2 e filmes de óxido resistentes à corrosão e a altas temperaturas.
Em termos de função, a tecnologia de revestimento por feixe de elétrons tem as seguintes características:
I) Revestimento de alta precisão: pode atingir controle preciso da espessura e composição do filme, preparando assim filmes com propriedades específicas.
2) Forte ajustabilidade: As propriedades físicas e químicas do filme podem ser facilmente ajustadas para atender às necessidades de diferentes aplicações.
3). Filme de alta qualidade: O filme preparado tem boa uniformidade, densidade e estabilidade.
4) Ampla gama de aplicações: É adequado para revestimento de uma variedade de materiais, incluindo metais, semicondutores, óxidos, etc.

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