Resistieve verdamping

Vacuümverdamping, ook wel verdamping genoemd, verwijst naar de procesmethode van het verdampen van het coatingmateriaal (of filmmateriaal) en het verdampen ervan door een bepaalde verwarmings- en verdampingsmethode onder vacuümomstandigheden, en de deeltjes vliegen naar het oppervlak van het substraat om een ​​film te vormen. Verdamping is een eerdere en meest gebruikte dampdepositietechnologie, die de voordelen heeft van een eenvoudige filmvormende methode, hoge zuiverheid en compactheid van dunne film, en een unieke filmstructuur en -prestatie.

Het fysieke proces van verdamping omvat: de verdamping of sublimatie van het afgezette materiaal in gasvormige deeltjes → het snelle transport van gasvormige deeltjes van de verdampingsbron naar het oppervlak van het substraat → de gasvormige deeltjes hechten zich aan het oppervlak van het substraat om te nucleëren, uit te groeien tot een vaste film → de dunne filmatomen worden opnieuw gevormd of er ontstaan ​​chemische bindingen.

Het substraat wordt in een vacuümkamer geplaatst en verhit door weerstand, elektronenbundel, laser en andere methoden om het filmmateriaal te verdampen of sublimeren en het te verdampen in deeltjes (atomen, moleculen of clusters) met een bepaalde energie (0,1~0,3 eV). De gasvormige deeltjes worden in een lineaire beweging naar het substraat getransporteerd die in principe botsingsvrij is, en sommige van de deeltjes die het oppervlak van het substraat bereiken, worden gereflecteerd, en het andere deel wordt geadsorbeerd op het substraat en verspreidt zich over het oppervlak, wat resulteert in tweedimensionale botsingen tussen de afgezette atomen om clusters te vormen, en sommige kunnen een korte tijd op het oppervlak blijven en vervolgens verdampen. Clusters van deeltjes botsen voortdurend met diffuse deeltjes, waarbij ze ofwel afzonderlijke deeltjes adsorberen of uitzenden. Dit proces wordt herhaaldelijk herhaald, en wanneer het aantal verzamelde deeltjes een bepaalde kritische waarde overschrijdt, wordt het een stabiele kern, en blijft dan deeltjes adsorberen en diffunderen en groeit geleidelijk, en vormt uiteindelijk een continue dunne film door het contact en de fusie van aangrenzende stabiele kernen.

Verzadigingsdampdruk (PV): De druk waarbij de damp van het verdampte materiaal in een vacuümkamer in evenwicht is met een vaste stof of vloeistof bij een bepaalde temperatuur. De relatiecurve tussen verzadigingsdampdruk en temperatuur is van groot belang voor filmfabricagetechnologie, die ons kan helpen om rationeel verdampingsmaterialen te selecteren en verdampingsomstandigheden te bepalen.