Leave Your Message
sollicitatie

Plasmareiniging

teczon Plasmareinigingsmachine

Plasma, net als vast, vloeibaar of gas, is een toestand van materie, ook wel de vierde toestand van materie genoemd. Door genoeg energie toe te passen op het gas om het te ioniseren, verandert het in een plasmatoestand. De "actieve" componenten van plasma omvatten: ionen, elektronen, actieve groepen, geëxciteerde nucliden (metastabiele toestand), fotonen, enz. Het plasma-oppervlaktebehandelingsinstrument gebruikt de eigenschappen van deze actieve componenten om het monsteroppervlak te behandelen, en bereikt zo het doel van reiniging, modificatie, fotoresistverassing, enz.
De structuur van de plasmareinigingsmachine bestaat hoofdzakelijk uit drie hoofdonderdelen: de besturingseenheid, de vacuümkamer en de vacuümpompen.
De voordelen van plasmareiniging zijn als volgt:
I) Het reinigingsobject is droog na plasmareiniging en kan naar het volgende proces worden gestuurd zonder verder te drogen. Het kan de verwerkingsefficiëntie van de gehele proceslijn verbeteren;
2) Plasmareiniging zorgt ervoor dat gebruikers de schadelijke oplosmiddelen voor het menselijk lichaam kunnen vermijden en voorkomt ook het probleem van eenvoudige schade aan het te reinigen object bij nat reinigen;
3) Vermijd het gebruik van ODS schadelijke oplosmiddelen zoals trichloorethaan, zodat er geen schadelijke verontreinigende stoffen worden geproduceerd na het reinigen, dus deze reinigingsmethode is een milieuvriendelijke groene reinigingsmethode. Dit wordt steeds belangrijker omdat de wereld veel aandacht besteedt aan milieubescherming;
4) Plasma gegenereerd door hoge frequenties in het radiogolfbereik verschilt van direct licht zoals lasers. Plasma is niet erg directioneel, waardoor het in de kleine gaatjes en uitsparingen van een object kan doordringen om de reinigingstaak te voltooien, dus er is geen noodzaak om te veel rekening te houden met de vorm van het object dat wordt gereinigd. Bovendien is het reinigingseffect op deze moeilijk te reinigen gebieden vergelijkbaar met of zelfs beter dan dat van Freon-reiniging;
5) Het gebruik van plasmareiniging kan de reinigingsefficiëntie aanzienlijk verbeteren. Het hele reinigingsproces kan binnen enkele minuten worden voltooid, dus het heeft de kenmerken van een hoge opbrengst;
6) De vacuümgraad die gecontroleerd moet worden voor plasmareiniging is ongeveer 100Pa, en deze reinigingsconditie is gemakkelijk te bereiken. Daarom zijn de apparatuurkosten van dit apparaat niet hoog, en vereist het reinigingsproces geen gebruik van dure organische oplosmiddelen, wat de totale kosten lager maakt dan het traditionele natte reinigingsproces;
7) Plasmareiniging vermijdt het transport, de opslag en de lozing van reinigingsvloeistoffen, waardoor de productielocatie eenvoudig schoon en hygiënisch te houden is;
8) Plasmareiniging kan worden gebruikt ongeacht het te behandelen object. Het kan een verscheidenheid aan materialen behandelen, of het nu metaal, halfgeleider, oxide of polymeermaterialen zijn (zoals polypropyleen, polyvinylchloride, polytetrafluorethyleen, polyimide, polyester, epoxyhars en andere polymeren). Daarom is het met name geschikt voor hittebestendige en oplosmiddelbestendige materialen. Bovendien kan de algehele, gedeeltelijke of complexe structuur van het materiaal selectief worden gereinigd;
9) Tijdens het voltooien van de reiniging en decontaminatie kunnen ook de oppervlakte-eigenschappen van het materiaal zelf worden verbeterd. Bijvoorbeeld, het verbeteren van de bevochtigingseigenschappen van het oppervlak en het verbeteren van de hechting van de film zijn erg belangrijk in veel toepassingen.

Verwante machines