Leave Your Message
1729488604552

تبخیر مقاومتی

تکسان دانش اولیه تبخیر خلاء

1>. تبخیر خلاء
تبخیر خلاء، که به عنوان تبخیر شناخته می شود، به روش فرآیند تبخیر مواد پوشش دهنده (یا مواد فیلم) و تبخیر آن با یک روش گرمایش و تبخیر خاص در شرایط خلاء اشاره دارد و ذرات به سطح زیرلایه پرواز می کنند تا یک لایه تشکیل دهند. فیلم تبخیر یک فناوری رسوب بخار اولیه و پرکاربرد است که دارای مزایای روش ساده تشکیل فیلم، خلوص و فشردگی بالای لایه نازک و ساختار و عملکرد منحصر به فرد فیلم است.
2>. اصل کار
فرآیند فیزیکی تبخیر شامل: تبخیر یا تصعید مواد رسوب‌شده به ذرات گازی → انتقال سریع ذرات گازی از منبع تبخیر به سطح زیرلایه → ذرات گازی به سطح زیرلایه می‌چسبند تا هسته‌ای شوند، رشد کنند. به یک فیلم جامد → بازسازی اتم های لایه نازک یا ایجاد پیوند شیمیایی.
زیرلایه در یک محفظه خلاء قرار می گیرد و با مقاومت، پرتو الکترونی، لیزر و روش های دیگر گرم می شود تا ماده فیلم تبخیر یا تصعید شود و آن را به ذرات (اتم ها، مولکول ها یا خوشه ها) با انرژی معین (0.1-0.3eV) تبخیر کنند. ذرات گازی در یک حرکت خطی که اساساً بدون برخورد است به زیرلایه منتقل می‌شوند و برخی از ذرات که به سطح زیرلایه می‌رسند منعکس می‌شوند و قسمت دیگر روی سطح جذب می‌شوند و روی سطح پخش می‌شوند. در برخوردهای دوبعدی بین اتم‌های رسوب‌شده برای تشکیل خوشه‌ها، و برخی ممکن است برای مدت کوتاهی روی سطح بمانند و سپس تبخیر شوند. خوشه های ذرات دائماً با ذرات پراکنده برخورد می کنند و ذرات منفرد را جذب می کنند یا ساطع می کنند. این فرآیند به طور مکرر تکرار می شود و زمانی که تعداد ذرات جمع آوری شده از یک مقدار بحرانی خاص فراتر رفت، تبدیل به یک هسته پایدار می شود و سپس به جذب و انتشار ذرات ادامه می دهد و به تدریج رشد می کند و در نهایت از تماس و ادغام یک لایه نازک پیوسته تشکیل می دهد. هسته های پایدار مجاور
3>. پارامترهای کلیدی
فشار بخار اشباع (PV): فشاری که در آن بخار ماده تبخیر شده در یک محفظه خلاء با یک جامد یا مایع در دمای معینی در تعادل است. منحنی رابطه بین فشار بخار اشباع و دما برای فناوری ساخت فیلم از اهمیت زیادی برخوردار است، که می تواند به ما در انتخاب منطقی مواد تبخیر و تعیین شرایط تبخیر کمک کند.

ماشین آلات مرتبط