پلاسما مانند جامد، مایع یا گاز حالتی از ماده است که به آن حالت چهارم ماده نیز می گویند. اعمال انرژی کافی به گاز برای یونیزه کردن آن، آن را به حالت پلاسما تبدیل می کند. اجزای "فعال" پلاسما عبارتند از: یون ها، الکترون ها، گروه های فعال، نوکلیدهای برانگیخته (وضعیت ناپایدار)، فوتون ها و غیره. تمیز کردن، اصلاح، خاکستر مقاوم به نور و غیره
ساختار دستگاه تمیز کننده پلاسما به طور عمده به سه قسمت اصلی تقسیم می شود، واحد کنترل، محفظه خلاء و پمپ های خلاء.
مزایای تمیز کردن پلاسما به شرح زیر است:
I) جسم تمیز کننده پس از تمیز کردن پلاسما خشک است و می تواند بدون خشک کردن بیشتر به فرآیند بعدی ارسال شود. این می تواند کارایی پردازش کل خط فرآیند را بهبود بخشد.
2) تمیز کردن پلاسما به کاربران اجازه می دهد تا از آسیب حلال های مضر برای بدن انسان دور بمانند و همچنین از مشکل آسیب آسان به شی تمیز کننده در تمیز کردن مرطوب جلوگیری می کند.
3) از استفاده از حلال های مضر ODS مانند تری کلرو اتان خودداری کنید تا پس از تمیز کردن هیچ آلاینده مضری تولید نشود، بنابراین این روش تمیز کردن یک روش پاکسازی سبز سازگار با محیط زیست است. این امر به دلیل توجه جدی جهان به حفاظت از محیط زیست اهمیت فزاینده ای پیدا می کند.
4) پلاسمای تولید شده توسط فرکانس های بالا در محدوده امواج رادیویی با نور مستقیم مانند لیزر متفاوت است. پلاسما خیلی جهت دار نیست، که به آن اجازه می دهد تا در سوراخ ها و فرورفتگی های کوچک یک جسم برای تکمیل کار تمیز کردن نفوذ کند، بنابراین نیازی به در نظر گرفتن شکل جسم در حال تمیز کردن زیاد نیست. علاوه بر این، اثر تمیز کنندگی در این مناطق دشوار تمیز کردن مشابه یا حتی بهتر از تمیز کردن فریون است.
5) استفاده از تمیز کردن پلاسما می تواند کارایی تمیز کردن را تا حد زیادی بهبود بخشد. کل فرآیند تمیز کردن را می توان در عرض چند دقیقه تکمیل کرد، بنابراین دارای ویژگی های عملکرد بالا است.
6) درجه خلاء که برای تمیز کردن پلاسما باید کنترل شود حدود 100Pa است و این شرایط تمیز کردن آسان است. بنابراین، هزینه تجهیزات این دستگاه زیاد نیست و فرآیند تمیز کردن نیازی به استفاده از حلال های آلی گران قیمت ندارد، که باعث می شود هزینه کلی کمتر از فرآیند تمیز کردن مرطوب سنتی باشد.
7) تمیز کردن پلاسما از حمل و نقل، ذخیره سازی و تخلیه مایعات تمیز کننده جلوگیری می کند، بنابراین محل تولید به راحتی تمیز و بهداشتی است.
8) تمیز کردن پلاسما را می توان بدون توجه به موضوع درمان استفاده کرد. این می تواند انواع مختلفی از مواد، اعم از فلز، نیمه هادی، اکسید، یا مواد پلیمری (مانند پلی پروپیلن، پلی وینیل کلراید، پلی تترا فلوئورواتیلن، پلی آمید، پلی استر، رزین اپوکسی و سایر پلیمرها) را درمان کند. بنابراین، به ویژه برای مواد مقاوم در برابر حرارت و مقاوم در برابر حلال مناسب است. علاوه بر این، ساختار کلی، جزئی یا پیچیده مواد را می توان به طور انتخابی تمیز کرد.
9) در حین تکمیل تمیز کردن و ضد عفونی کردن، می توان خواص سطحی خود ماده را نیز بهبود بخشید. به عنوان مثال، بهبود خواص مرطوب کنندگی سطح و بهبود چسبندگی فیلم در بسیاری از کاربردها بسیار مهم است.
01