Leave Your Message
1729488604552

تبخیر پرتو الکترونیکی

تکسان تبخیر پرتو الکترونی

تبخیر پرتو الکترونی نوعی رسوب فیزیکی بخار است. برخلاف روش‌های تبخیر سنتی، تبخیر پرتوی الکترونی از هماهنگی میدان‌های الکترومغناطیسی برای دستیابی به استفاده دقیق از الکترون‌های پرانرژی برای بمباران مواد هدف در بوته، ذوب آن و سپس رسوب آن بر روی بستر استفاده می‌کند. تبخیر پرتو الکترونی می تواند فیلم هایی با خلوص و دقت بالا را رسوب دهد.

تبخیر پرتوی الکترونی از الکترون‌های شتاب‌دار برای بمباران مواد پوشش استفاده می‌کند. انرژی جنبشی الکترون ها به انرژی گرمایی تبدیل می شود تا ماده پوشش را گرم کرده و تبخیر کند و یک لایه تشکیل دهد. تفنگ های الکترونی به انواع مستقیم، حلقه ای و E تقسیم می شوند. ویژگی های تبخیر گرمایش پرتو الکترونی این است که می تواند چگالی انرژی بسیار بالایی را به دست آورد، تا 109w/cm2، و دمای گرمایش می تواند به 3000-6000 ℃ برسد. می تواند فلزات یا ترکیبات نسوز را تبخیر کند. مواد تبخیر شده در یک بوته خنک شده با آب قرار داده می شود تا از آلودگی مواد بوته جلوگیری شود. رسوب تبخیر پرتوی الکترونی می تواند فیلم هایی با خلوص بالا تهیه کند. در همان زمان، بوته های متعدد را می توان در یک دستگاه رسوب تبخیر قرار داد تا به تبخیر و رسوب همزمان یا جداگانه انواع مواد مختلف دست یابد. بیشتر مواد را می توان با تبخیر پرتو الکترونی تبخیر کرد.
تبخیر پرتو الکترونی می تواند مواد با نقطه ذوب بالا را تبخیر کند. راندمان حرارتی بالاتر، چگالی پرتو بزرگتر و سرعت تبخیر سریعتر نسبت به تبخیر گرمایش با مقاومت عمومی دارد. فیلم تولید شده از خلوص بالا و کیفیت خوبی برخوردار است. ضخامت را می توان با دقت کنترل کرد. می توان از آن برای تهیه فیلم های مختلف مواد نوری مانند فیلم های با خلوص بالا و شیشه های رسانا استفاده کرد.
تبخیر پرتو الکترونی اغلب برای تهیه فیلم های آلیاژی یا اکسیدی از فیلم های Al، CO، Ni، و Fe، SiO2، ZrO2 و فیلم های اکسیدی مقاوم در برابر خوردگی و مقاوم در برابر درجه حرارت بالا استفاده می شود.
از نظر عملکرد، فناوری پوشش پرتو الکترونی دارای ویژگی های زیر است:
I) پوشش با دقت بالا: می تواند به کنترل دقیق ضخامت و ترکیب فیلم دست یابد و در نتیجه فیلم هایی با خواص خاص تهیه شود.
2) قابلیت تنظیم قوی: خواص فیزیکی و شیمیایی فیلم را می توان به راحتی برای رفع نیازهای کاربردهای مختلف تنظیم کرد.
3). فیلم با کیفیت: فیلم تهیه شده دارای یکنواختی، تراکم و پایداری خوبی است.
4) طیف گسترده ای از کاربرد: برای پوشش انواع مواد از جمله فلزات، نیمه هادی ها، اکسیدها و غیره مناسب است.

ماشین آلات مرتبط