Wissenschaft und Forschung, Labor-Beschichtungsmaschine
Kurzbeschreibung der Maschine
Für die Anforderungen von Forschungsinstituten, Unternehmenslaboren und anderen F&E-Organisationen bieten wir individuell anpassbare Vakuumbeschichtungsanlagen im kleinen Maßstab an. Dazu gehören unter anderem Magnetron-Sputter-Beschichter, Lichtbogen-Ionen-Beschichter, Verdampfungsbeschichter, PECVD-Anlagen (Chemical Vapor Deposition) und ALD-Anlagen (Atomlagenabscheidung). Wir können auch multifunktionale Verbundbeschichtungsanlagen entwickeln, die den vielfältigen Anforderungen von Forschungsinstituten und Unternehmenslaboren gerecht werden.
Kurzbeschreibung der Maschine
- .Es können verschiedene Strukturen hergestellt werden, beispielsweise als Glasglockentyp, Kastentyp, Endlostyp, Rollentyp usw. Ausgestattet mit Magnetron-Zerstäubungskathode, Lichtbogenquelle, E-Gun-Verdampfungsquelle, Laserbeschichtungsquelle, PECVD-Elektrode und anderen Beschichtungssystemen.
- .Zu den optionalen Zusatzbeschichtungssystemen gehören: Heizen und Backen, Impulsvorspannung, Ionenquelle, Ionenbeschuss, HF- oder Mikrowellen-Entladungsgerät entsprechend den Anforderungen des Benutzers.
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