النقش
المبادئ الأساسية للحفر الجاف
1. تفاعل الغاز**: في الحفر الجاف، تُستخدم الغازات مثل الفلورايد والكلوريد عادةً كمواد حفر. تتفاعل هذه الغازات مع المادة المراد حفرها في حالة البلازما لتكوين نواتج ثانوية متطايرة.
2. توليد البلازما**: يتم تحويل الغاز إلى بلازما عن طريق إثارة الترددات الراديوية (RF) أو إثارة الموجات الدقيقة. في البلازما، يتم تأين جزيئات الغاز لإنتاج الجذور الحرة والأيونات، والتي يمكنها التفاعل بشكل فعال مع المادة.
3. الحفر الانتقائي**: يمكن للحفر الجاف تحقيق انتقائية عالية ويمكنه إزالة مواد معينة بشكل انتقائي مع ترك مواد أخرى دون تغيير. وهذا مهم جدًا لمعالجة الهياكل المعقدة.
تطبيقات الحفر الجاف
- تصنيع أشباه الموصلات: تستخدم لنقل الأنماط على رقائق السيليكون لتشكيل الدوائر.
- تصنيع MEMS: المعالجة البنيوية للأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة.
- الإلكترونيات البصرية: تصنيع المكونات الإلكترونية البصرية مثل أجهزة الليزر وأجهزة الكشف.
